深圳新闻网2024年10月17日讯（深圳特区报记者 熊子恒 邹媛）比小拇指指甲盖还小的碳化硅芯片成为新能源汽车的控制大脑；全自动化设备在密闭空间中完成晶圆的分选、传输与测试……记者在16日开幕的首届湾区半导体产业生态博览会上看到，来自全球各地的知名半导体芯片企业“大秀绝活”，展示最新设备与技术成果。

晶圆机器人完成生产流程自动化

“中国半导体产业有广阔的市场空间，我们是第一次来深圳参展，展出的全自动晶圆包装拆包机吸引了不少关注。通过参加湾芯展，我们与更多客户建立了联系，也拓展了很多合作机会。”一位来自马来西亚的晶圆自动化设备厂商负责人接受记者采访时表示。

晶圆传输设备广泛应用于芯片制造的多个工艺环节。“晶圆传输设备的核心部件是晶圆机器人，芯片的生产对操作精度和洁净度都有很高的要求，我们在晶圆传输技术、标准机械界面技术、光罩传送自动化系统等领域积累了核心优势，可以为半导体芯片产制造商提供定制化服务。”大族富创得一位参展的市场销售人员说。

在展会现场，前海晶云（深圳）存储技术有限公司展示了DRAM存储芯片的检测设备。前海晶云运营部总监朱亚表示，DRAM与电脑、手机的CPU直接交换数据，也就是俗称的“内存”。近年来，国内企业在存储半导体技术方面发展迅速。前海晶云的核心能力就在于存储半导体测试设备及先进封装所需测试设备的研发与制造。凭借着在测试领域长期积累的技术与经验，该公司的设备可以满足存储芯片厂商在不同使用场景下的测试需求，为封装良率提供保障。

“粤港澳大湾区已经形成完整半导体上下游产业体系，产业链配套完整齐备，深圳创新环境为前海晶云实现自主研发与制造提供了有利支持。生产存储半导体测试设备所需的零部件都可以在大湾区内找到供应商，测试服务在大湾区有着广阔的市场需求。”朱亚说。

自主研发为产业化应用赋能

展会上，深企方正微电子正式发布了车规级碳化硅MOS1200V全系产品。记者在该公司展台前看到，其不同规格的芯片已经应用于汽车动力总成系统、车载空调系统、OBC（车载充电器）系统等不同设备场景。

方正微电子技术支持人员周理超表示，新能源汽车是碳化硅功率半导体最大的应用场景，基于碳化硅技术的解决方案在尺寸、重量、功率密度和效率等性能方面均优于硅基方案，将助力汽车能量管理及续航提升。“公司已经实现了车规级碳化硅芯片量产，在芯片的设计与制造上均实现了独立自主，我们将聚焦碳化硅与氮化镓第三代半导体技术，继续在集成电路的研发上发力，提供高质量高性能的电能转化芯片产品，促进产业绿色发展。”他说。

在碳化硅技术这条赛道中，越来越多的深圳企业加入其中。至信微电子是一家以碳化硅芯片设计为主业的初创公司。该公司销售经理霞金谷表示，碳化硅有着耐高压的物理特性，其作为新一代半导体技术在工业级的应用场景中有明显优势，目前该公司设计的芯片已在光伏储能设备中展开应用。

借助此次博览会，设备厂商与芯片制造商的最新技术在交流中碰撞出新的火花。巨大的市场需求与技术的持续积累进一步打开产业发展空间。未来，凭借自主研发，以及良好的产业配套和营商环境，深圳企业有望在全球半导体产业链中占据更加重要的地位。